סיליקון קרביד תמיסת שלוחה
אזורי יישום: בתנורי דיפוזיה ובתנורי דיפוזיה של חמצון בטמפרטורה גבוהה המשמשים בתעשיית ייצור המוליכים למחצה לביצוע צמיחה תרמית וחמצון פרוסות סיליקון, ההנעה שלוחה היא מרכיב מרכזי במערכת טעינת הפרוסים כדי להבטיח אחידות של פרוסות וצינורות התנור ליותר דיפוזיה וחמצון אחידים. משוטים שלוחים מסיליקון קרביד מאופיינים בחוזק גבוה, טוהר גבוה, מוליכות תרמית גבוהה, ללא נקבוביות, עמידות בפני קורוזיה חומצה ואלקלית, ללא זיהום בטמפרטורות גבוהות, יציבות הלם תרמית טובה ויכולת העמסה גבוהה. בשילוב עם מקדם התפשטות תרמית דומה לזה של ציפויים LPCVD, השימוש במשוטים שלוחים מסיליקון קרביד ב-LPCVD יכול להאריך משמעותית את מחזורי הניקוי התחזוקה ולהפחית מאוד את הזיהום.
תיאור
אחד היתרונות העיקריים של תרחיץ סיליקון קרביד הוא יכולתו לספק תוצאות עקביות ואחידות. הרחצה מסוגלת לספק גימור חלק ואיכות פני שטח מעולה, מה שמבטיח שהחלקים המעובדים נקיים משריטות, סדקים או פגמים אחרים.
יתרון נוסף של תרחית סיליקון קרביד הוא היותה ידידותית לסביבה. התמיסה אינה מכילה תרכובות מסוכנות או כימיקלים רעילים, מה שהופך אותה לבטוחה לשימוש והשלכה.
יתר על כן, תמיסת תרחיף סיליקון קרביד היא חסכונית ביותר מכיוון שהיא מפחיתה באופן משמעותי את בזבוז החומר ואת זמן העיבוד. התרחיץ מסוגל להסיר חומר בקצב מהיר יותר מאשר טכניקות השחזה והליטוש המסורתיות, ובכך להגביר את היעילות של תהליך הייצור.
