מגש סיליקון קרביד
יישומים: תהליך תחריט ICP לחומרי סרט דק בשכבה אפיטקסיאלית (GaN, SiO2 וכו') לליבות LED פרוסות, דיפוזיה של מוליכים למחצה באמצעות חלקים קרמיים מדויקים ותהליך אפיטקסיאלי MOCVD עבור פרוסות מוליכים למחצה. מגשים קרמיים סיליקון קרביד עשויים מחומר קרמי סיליקון קרביד מסונט בטוהר גבוה ללא לחץ, בעל היתרונות של קשיות גבוהה, עמידות בפני שחיקה, מוליכות תרמית גבוהה, יציבות מכנית בטמפרטורה גבוהה ועמידות בפני קורוזיה, כמו גם דיוק ואחידות גבוהים. של תחריט שכבת רקיקית.
תיאור
למגשי SiC יתרונות רבים בהשוואה לסוגים אחרים של מגשים. קודם כל, המוליכות התרמית הגבוהה שלהם הופכת אותם לאידיאליים עבור תהליכי טיפול בחום, כגון סינטר והלחמה. הם יכולים לעמוד בטמפרטורות של עד 1650 מעלות ללא עיוות או השפלה, מה שאומר שניתן להשתמש בהם בסביבות קשות שבהן חומרים אחרים ייכשלו.
שנית, מגשי סיליקון קרביד אינרטיים מבחינה כימית ואינם מגיבים עם רוב הכימיקלים, כולל חומצות, בסיסים ומלחים. תכונה זו הופכת אותם לאידיאליים לשימוש בתעשיות הכימיות והתרופות, שבהן משתמשים לעתים קרובות בכימיקלים קשים.
שלישית, מגשי SiC עמידים מאוד בפני שחיקה ובעלי מקדם התפשטות תרמית נמוך. זה הופך אותם לאידיאליים לשימוש ביישומי תנורים בטמפרטורה גבוהה שבהם חלקים צריכים להתאים היטב ולא להתרחב או להתכווץ עקב שינויים תרמיים.
