סינתזת שלב האדים הכימיים של בורון ניטריד
May 03, 2021
בשנת 1979, סוקולובסקי השתמש בהצלחה בטכנולוגיית פלזמה פעמו כדי להכין סרטי בורון ניטריד מעוקב (CBN) בטמפרטורה נמוכה ולחץ נמוך. הציוד המשמש הוא פשוט ואת התהליך קל לממש, ולכן הוא פותח במהירות. מגוון שיטות תצהיר אדים הופיעו. באופן מסורתי, זה בעיקר מתייחס לתצהיר אדים כימיים תרמיים. המכשיר הניסיוני מורכב בדרך כלל מצינור קוורץ עמיד בחום ומכשיר חימום. ניתן לחמם את המצע על ידי תנור חימום (CVD עם קיר חם) או חימום אינדוקציה בתדר גבוה (CVD קיר קר). גז התגובה מתפרק על פני השטח של המצע בטמפרטורה גבוהה, ובמקביל, מתרחשת תגובה כימית להפקדת סרט. גז התגובה הוא גז מעורב של BCl3או B2ח'4ו- NH3.